LCD 表面plasma清洁设备
应用领域:
LCD玻璃面板及bonding区的plasma清洁
技术特点:
1.采用定制plsma清洁装置,可靠性高,效果更好
2.采用多头宽幅同时加工,效率高
3.可以在高速运动模式下,快速实现水滴角<20°以内
4.设备加工区域配备温度及压力监测装置,让加工的产品更可靠放心
5.设备支持Inline/Offline结构,支持MES/CIM系统
应用领域:
LCD玻璃面板及bonding区的plasma清洁
技术特点:
1.采用定制plsma清洁装置,可靠性高,效果更好
2.采用多头宽幅同时加工,效率高
3.可以在高速运动模式下,快速实现水滴角<20°以内
4.设备加工区域配备温度及压力监测装置,让加工的产品更可靠放心
5.设备支持Inline/Offline结构,支持MES/CIM系统